Übersicht
Plasmaanlagen von Plasma Electronic
Unsere Anlagen sind solide, qualitativ hochwertige, in Deutschland gebaute Maschinen. Sie sind vielseitig einsetzbar und benötigen wenig: geringer Wartungsaufwand, niedrige Betriebskosten und der Bediener benötigt kaum Hintergrundwissen. Alle Anlagen werden bezüglich Ihrer besonderen Anforderungen optimiert, da wir für Sie den Plasmaprozess auf Ihrer Anlage etablieren.
MyPlas
Anlage für Forschung, Entwicklung, Klein-serien und für Atom- lagenabscheidung (ALD) mit 10 Liter Kammer.
MyPlas PEALD
PEALD-Anlage mit 10 Liter Kammervolumen für Flachsubstrate (ALD 3D-Prozessen), Forschung und Entwicklung..
PEALD 3D
PEALD 3D-Anlage mit 20 Liter Kammervolumen für Kleinserien-beschichtung (ALD 3D-Prozessen)
DOMINO XV
Variable Anlage. Kann mit Tabletts oder mit einer Drehtrommel betrieben werden.
PORTA
Anlage zur Reinigung, Aktivierung und Beschichtung mit Kammervolumen bis zu 720 Litern.
Sonderanlagen
Anlagen zur Reinigung, Aktivierung und Beschichtung mit beliebigem Kammervolumen.