Radiofrequenz (RF):
Leistung bis 3 kW pro Ebene,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk
wassergekühltes Elektrodensystem
Sicherheits-elemente:
Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm
Steuerung:
SPS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess
Anschlusswerte:
Strom: 400 V, 250 A, 50 Hz
Druckluft: 6 bar, wasser- und ölfrei
Prozessgas: 1 bis 1,5 bar
Leistungsaufnahme: max. 21 kW
Wasser: 2 bis 3 bar, 6 bis 11 l/min
Vakuumpumpe:
System bestehend aus mindestens einer Vor- und Hauptpumpe für jede Kammer.