Plasmaanlage
DOMINO XV
Variable Anlage. Kann mit Tabletts oder mit einer Drehtrommel betrieben werden.
Spezifikationen
Gesamtaufbau:
Standgerät
Außenmaße: 600 × 1900 × 800 mm (B × H × T)
Außenmaße: 600 × 1900 × 800 mm (B × H × T)
Prozesskammer:
Material: Edelstahl
Volumen: 80 Liter
Innenmaße: 400 × 400 × 500 mm (B × H × T)
Kann in diesen Konfigurationen betrieben werden:
- mit 1, 2 oder 3 Tabletts
- mit einer Drehtrommel (Volumen 14 Liter)
Volumen: 80 Liter
Innenmaße: 400 × 400 × 500 mm (B × H × T)
Kann in diesen Konfigurationen betrieben werden:
- mit 1, 2 oder 3 Tabletts
- mit einer Drehtrommel (Volumen 14 Liter)
Gasmengenregulation:
Bis zu 4 automatisierte Gasflussregler (MFC)
Energie-Einspeisung:
2 Alternativen:
Radiofrequenz (RF):
Leistung bis 1200 W,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk
Niederfrequenz (LF):
Leistung bis 1250 W,
Anregungsfrequenz 10 bis 300 kHz
In der Tablett-Konfiguration ist jedes Tablett elektrisch unabhängig.
Radiofrequenz (RF):
Leistung bis 1200 W,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk
Niederfrequenz (LF):
Leistung bis 1250 W,
Anregungsfrequenz 10 bis 300 kHz
In der Tablett-Konfiguration ist jedes Tablett elektrisch unabhängig.
Sicherheits-elemente:
Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm
Steuerung:
SPS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess
Anschlusswerte:
Strom: 400 V, 32 A, 50 Hz
Druckluft: 6 bar, wasser- und ölfrei
Prozessgas: 1 bis 1,5 bar
Leistungsaufnahme: max. 5,5 kW
Wasser: 2 bis 3 bar, 3 bis 7 l/min
Druckluft: 6 bar, wasser- und ölfrei
Prozessgas: 1 bis 1,5 bar
Leistungsaufnahme: max. 5,5 kW
Wasser: 2 bis 3 bar, 3 bis 7 l/min
Vakuumpumpe:
System bestehend aus Vor- und Hauptpumpe
Gewicht:
Ca. 280 kg, ohne Vakuumpumpe
Netzwerk:
Ausrüstung mit Netzwerkkarte für Fernwartung
Kontaktaufnahme für DOMINO XV
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